圖中“Surface Tolerance”中主要包含透鏡的表面誤差，例如半徑（Radius）、表面不規(guī)則度（Irregularity）等等。

“Element Tolerance”則包含了透鏡在系統(tǒng)中的位移和傾斜公差。由所給的預(yù)設(shè)公差分析設(shè)定，可以看出：

曲率半徑：傳統(tǒng)的公差測試方法是利用He-Ne激光器照射到double-pass系統(tǒng)中觀察其干涉條紋。本例中，我們使用條紋數(shù)來評估半徑，并且允許待測表面和原器件之間有一個條紋的公差。因為光源為He-Ne激光，因此我們將波長設(shè)定為0.6328。注意這并不是系統(tǒng)實際工作時的波長而是測試時所用的波長（實際工作為1離子激光波長為0.5415微米）。

注意原始設(shè)計（nominal）的公差評價標(biāo)準(zhǔn)為0.0022即1/400。我們要求在批量生產(chǎn)時有1/20或者0.05波長，而系統(tǒng)中一部分公差本身就超過了這一標(biāo)準(zhǔn)，例如增加了補償之后，單單第二片透鏡的折射率公差就使得波前差降到了0.058 波長。在所有公差單獨計算后，Zemax OpticStudio 會計算各種不同的統(tǒng)計資料。其中最1重要的就是 "Estimated Change" 以及 “Estimated Performance” （本文中為Estimated RMS Wavefront）。Zemax OpticStudio使用RSS（Root Sum Square）的計算方法計算Estimated Change。對于每一個公差操作數(shù)，相對于原始設(shè)計的評價標(biāo)準(zhǔn)變量的計算方法是最1大與最1小公差的評價標(biāo)準(zhǔn)的改變各自平方后再取平均值。最1大與最1小取平均是因為它們不會同時發(fā)生，如果相加會導(dǎo)致過分悲觀的預(yù)測。至此，我們計算出了一個最終成品值的預(yù)測。

重新打開公差編輯器，可以發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)自動修改了一些最1大最1小值，以符合逆向敏感度分析，這些改變都在制造可以要求的范圍內(nèi)。

注意：執(zhí)行1000 Monte-Carlo分析，作者的8核1電腦中只用了26秒就可以完成。Zemax OpticStudio并沒有使用任何一階或者其他近似方法來猜測擾動對波前的公差分析的效果。每一個評價函數(shù)都在完整精度的透鏡波前差計算中完成的。