Plasma-Etch-等離子清洗機PE50-等離子處理機
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經(jīng)營批發(fā)
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上海市浦東新區(qū)
美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE-50臺式實驗室等離子表面處理機
PE-50小型等離子表面處理設備是專門針對于大學研究機構和工廠研發(fā)部門設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計,突出移動方便,超高功能和性能,操作方便的使用特性。
設備特點:
1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm),可放置在任何實驗臺上。
2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接,電極面積達到114mmx152mm,腔體與電極之間的間隙可到51mm,樣品放置空間大。另外,PE-50可以升級成PE-50XL,處理面積達到191mmx223mmx90mm。
3.配置靈活可配置不同的頻率及功率:50KHz/13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。
4.操作簡便,一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設備中,唯一引入一鍵急停保護按鈕,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
外部尺寸 | 356mmWx368mmDx457mmH |
真空腔材質 | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | (約140mm寬x179mm深x89mm高) |
電極尺寸 | 114mm(寬)x152mm(深)間隙51mm |
等離子發(fā)生器 | 功率max.400w(可調(diào)) 頻率:50KHz(可選配13.56MHz) |
供氣 | 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
壓力測量 | 熱電偶真空計0-1Torr |
控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面,數(shù)字字母顯示器。設置方案工藝可以進行自動處理。 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A |
PE-50升級版 | 處理面積191mmx223mmx90mm |
附件(可選件)
抽氣裝置:推薦型號:5CFM2級直驅真空油泵
?氧氣發(fā)生器
?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
?50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動阻抗匹配網(wǎng)絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
?接枝設備
高級配置:
?PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng),裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動系統(tǒng)操作,流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。
?質量流量控制器:附加質量流量控制器也可提供。
?氣流減壓裝置。