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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 等離子處理機(jī), 大氣等離子清洗機(jī), 臺(tái)階儀
美國(guó)plasma-etch-等離子清洗機(jī)PE-25
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
¥89999.00
≥1
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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
店齡6年
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經(jīng)營(yíng)模式
經(jīng)營(yíng)批發(fā)
所在地區(qū)
上海市浦東新區(qū)
主營(yíng)產(chǎn)品
美國(guó)產(chǎn)Plasma CleaningSystem
PE-25臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
PE-25小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué),研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì),突出移動(dòng)方便,多種配置功能和超高性能以及穩(wěn)定性,操作方便的使用特性。
設(shè)備特點(diǎn):
1.體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
2.性能可靠,“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接,電極面積達(dá)到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,樣品放置空間大。
3.配置靈活,可配置不同的頻率及功率:50KHz,13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。
4.操作簡(jiǎn)便,一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設(shè)備中,唯一引入一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
外部尺寸 | 356mm*368mm*457mm |
真空腔材質(zhì) | 6061T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 127mm*203mm |
電極尺寸 | 89*178mm,間隙63mm |
等離子發(fā)生器 | 功率max.400w(可調(diào)) 頻率:50KHz(可選配13.56MHz) |
供氣 | 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
壓力測(cè)量 | 熱電偶真空計(jì)0-1Torr |
控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A |
附件(可選件)
抽氣裝置:推薦型號(hào):5CFM 2級(jí)直驅(qū)真空油泵
?氧氣發(fā)生器
?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
?50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
?接枝設(shè)備
高級(jí)配置:
?PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng),裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作,流程排序,多配方存儲(chǔ),以及其他高級(jí)功能。
?質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
?氣流減壓裝置。