美國(guó)plasma etch 等離子清洗機(jī)PE-25
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美國(guó)plasma etch 等離子清洗機(jī)PE-25

美國(guó)plasma-etch-等離子清洗機(jī)PE-25

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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司

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品牌 Plasma Etch
型號(hào) PE-25
是否進(jìn)口 進(jìn)口
頻率 13.56MHz
電極尺寸 89mm*170mm
商品介紹

美國(guó)產(chǎn)Plasma CleaningSystem
PE-25臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)



PE-25小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué),研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì),突出移動(dòng)方便,多種配置功能和超高性能以及穩(wěn)定性,操作方便的使用特性。

設(shè)備特點(diǎn):


1.體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。

2.性能可靠,“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接,電極面積達(dá)到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,樣品放置空間大。

3.配置靈活,可配置不同的頻率及功率:50KHz,13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡(jiǎn)便,一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障:在小型設(shè)備中,唯一引入一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。


外部尺寸356mm*368mm*457mm
真空腔材質(zhì)6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸127mm*203mm
電極尺寸89*178mm,間隙63mm
等離子發(fā)生器功率max.400w(可調(diào))
頻率:50KHz(可選配13.56MHz)
供氣氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測(cè)量熱電偶真空計(jì)0-1Torr
控制器PLC微電腦控制系統(tǒng)。
安全保障一鍵急停按鈕
電源220VAC,14A


附件(可選件)

抽氣裝置:推薦型號(hào):5CFM 2級(jí)直驅(qū)真空油泵
?氧氣發(fā)生器
?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
?50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
?接枝設(shè)備


高級(jí)配置:

?PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng),裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作,流程排序,多配方存儲(chǔ),以及其他高級(jí)功能。
?質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
?氣流減壓裝置。




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公司名稱 上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
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地址 上海市浦東新區(qū)