產品描述

P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統(tǒng)領先業(yè)界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結合了UltraLite^?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

主要功能

• 臺階高度：幾納米至1000μm
• 微力恒力控制：0.03至50mg
• 樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
• 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
• 軟件：簡單易用的軟件界面
• 生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

主要應用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度
• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
• 形狀：2D和3D翹曲和形狀
• 應力：2D和3D薄膜應力
• 缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

• 大學、研究實驗室和研究所
• 半導體和化合物半導體
• LED：發(fā)光二極管
• 太陽能
• MEMS：微機電系統(tǒng)
• 數據存儲
• 汽車
• 醫(yī)療設備
• 還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求