螣芯科技
主營(yíng)產(chǎn)品: 半導(dǎo)體前道, 后道, 檢測(cè)設(shè)備
布魯克Bruker原子力顯微鏡-AFM-Dimension-Icon-系列
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經(jīng)營(yíng)模式
其他
所在地區(qū)
上海市青浦區(qū)
主營(yíng)產(chǎn)品
布魯克Bruker原子力顯微鏡的工作模式是以針尖與樣品之間的作用力的形式來(lái)分類的。主要有以下3種操作模式:接觸模式(contact mode) ,非接觸模式( non - contact mode) 和敲擊模式( tapping mode)。
特征:
低漂移和低噪音水平
配置有專有ScanAsys原子成像優(yōu)化技術(shù),可以簡(jiǎn)易快速穩(wěn)定成像
測(cè)試樣品尺寸可達(dá):直徑210mm,厚度15mm
溫度補(bǔ)償位置傳感器使Z軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級(jí)和埃級(jí)水平,并呈現(xiàn)出前所未有的高分辨率。
全新的XYZ閉環(huán)掃描頭在不損失圖像質(zhì)量的前提下大大提高了掃描速度。
探針和樣品臺(tái)的開(kāi)放式設(shè)計(jì)使Icon 可勝任各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)。
先進(jìn)的布魯克AFM的模式和技術(shù),如高次諧波共振模式,和獨(dú)有的不失真高溫成像技術(shù)--采用對(duì)針尖和樣品同時(shí)加熱的方法,程度減少針尖和樣品之間的溫差,避免造成成像失真。
部分選擇項(xiàng):
參數(shù):
X-Y掃描范圍: 90μm x 90μm(標(biāo)準(zhǔn)), 85μm (小)
Z掃描范圍: 10um(標(biāo)準(zhǔn)成像與壓力模式),9.5um(小)
X-Y噪聲(閉環(huán)): ≤0.15 nm RMS,標(biāo)準(zhǔn)成像帶寬,(可達(dá)625 Hz)
Z噪聲(閉環(huán)): 35pm RMS,標(biāo)準(zhǔn)成像帶寬,(可達(dá)625HZ)
50pm RMS,力曲線帶寬,(0.1HZ-5KHZ)
非線性積分(X-Y-Z): <0.5%
樣品大?。?真空吸盤210mm,直徑 ≤210mm,厚度 ≤15mm
電動(dòng)定位平臺(tái)(X-Y): 180mm × 150mm 檢測(cè)區(qū)域;
2μm重復(fù)性, 單向;
3μm 重復(fù)性,雙向;
光學(xué)顯微鏡: 500萬(wàn)像素的數(shù)碼相機(jī);
180微米至1465μm可視面積;
數(shù)碼變焦和機(jī)動(dòng)焦點(diǎn)
控制器: NanoScope V
工作臺(tái): 整合了所有控制器,符合物理和人體工學(xué)設(shè)計(jì)
隔振裝置: 集成化,氣動(dòng)
隔音裝置: 可在連續(xù)85DBC環(huán)境下連續(xù)工作