SM-150 桌面式勻膠機(jī)

SM 系列的優(yōu)點(diǎn)在于，具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。為了使花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力最小化，SAWATEC 公司開發(fā)了一種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可以簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù)碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，也可以將維護(hù)成本最小化。因此，SAWATEC勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所。

該勻膠機(jī)可提供便攜桌上式和內(nèi)嵌式兩種方式。

產(chǎn)品功能：

1.  可編程，多 達(dá)50 個(gè)程序， 適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能
2.  觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置
3.  工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速、加速度、工藝時(shí)間
4.  旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時(shí)針、逆時(shí)針)
5.  手動(dòng)裝卸基板
6.  通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定
7.  手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)

性能參數(shù)：

1.  轉(zhuǎn)速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm
2. 工藝時(shí)間長(zhǎng)達(dá)為 2376 s
3. 每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 99 s半自動(dòng)勻膠機(jī) SM-200
4. 
   

5. 半自動(dòng)勻膠機(jī)SM-200

   
   

   可處理沒有或表面結(jié)構(gòu)非常低的襯底。SM系列性能卓越，因?yàn)樗母咚降木鶆蛐院椭貜?fù)性。所有商業(yè)光阻劑都可以被均勻涂布。針對(duì)多種多樣的應(yīng)用設(shè)計(jì)的專用卡盤，有助于提高在基材選擇方面的高度靈活性和可使用性。

   產(chǎn)品功能：

   1. 閉合工藝室由PETP材質(zhì)做成的(碗和防濺環(huán))
   2. RCCT系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)閉合腔體技術(shù)Round-Closed-Chamber-Technology)
   3. 高動(dòng)態(tài)、直接驅(qū)動(dòng)交流伺服電機(jī)
   4. 旋轉(zhuǎn)速度6000 rpm  +/-1 rpm(可選10000)
   5. 可編程電驅(qū)動(dòng)分配手臂，可以靜態(tài)或動(dòng)態(tài)滴膠
   6. 襯底通過真空固定和安全互鎖保護(hù)
   7. 一個(gè)滴膠臂，可以最大放置4路液體管路
   8. 液體是由玻璃瓶和精密計(jì)量泵來供應(yīng)的，包括低液體傳感報(bào)警
   9. PP材質(zhì)的廢液桶，帶有高液位傳感器

   10. 半自動(dòng)噴膠機(jī) iSPRAY-300

       
       

       針對(duì)具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度 MEMS 結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基 板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機(jī)，適用于手動(dòng)噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實(shí)驗(yàn)室，尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場(chǎng)合。 經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley 1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成最精細(xì)的小液滴。在一個(gè)封閉式工藝室中噴嘴經(jīng)由“弓”字型行進(jìn)路徑進(jìn)行噴涂，由此可以確保整個(gè)基板表面上均勻的噴涂效果以及高度可再現(xiàn)性。該設(shè)備可用于圓形或正方形基板，最多可同時(shí)噴涂 4 個(gè)晶基板。 iSPRAY-300 噴膠機(jī)適用于最大直徑為 300 mm 的晶圓或尺寸為 12x12 英寸的基板。

       產(chǎn)品功能：

       1.  可編程，多達(dá) 50 個(gè)程序
       2.  適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能
       3.  觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置
       4.  工藝參數(shù)：噴嘴行進(jìn)路徑，噴灑臂速度，噴灑時(shí)間，錐形束形狀電氣驅(qū)動(dòng)的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選
       5.  可調(diào)整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動(dòng)的清潔功能
       6.  用于計(jì)量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件
       7.  手動(dòng)裝卸基板

       性能參數(shù)：

       1.  噴灑臂的速度和定位精度：高達(dá) 0.4 m/s；±0.1mm
       2.  每個(gè)分段的噴灑時(shí)間：長(zhǎng)達(dá)9999 秒，調(diào)節(jié)步幅為 0.1 秒
       3.  噴灑循環(huán)的數(shù)目：多達(dá) 20 個(gè)曲回循環(huán)
       4.  環(huán)境溫度：+4 至 +60°C