丹頓Denton電子束蒸發(fā)設(shè)備Explorer|Integrity系列
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丹頓Denton電子束蒸發(fā)設(shè)備Explorer-Integrity系列

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品牌 丹頓Denton
功能 蒸發(fā)臺(tái)
方式 熱/電子束蒸發(fā)
產(chǎn)地 進(jìn)口
運(yùn)輸 木箱
商品介紹

Explorer薄膜沉積解決方案

電子束、磁控濺射和熱蒸發(fā)


Explorer是多功能的高真空研發(fā)和中試生產(chǎn)平臺(tái)，其配置可為電子束(e-beam) 蒸發(fā)、電阻蒸發(fā)或磁控濺射。所有三種配置中均可選配離子輔助沉積功能。Explorer可在半手動(dòng)模式下使用，也可升級(jí)到全自動(dòng)模式，一鍵自動(dòng)化操作，可以減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間。

用途

  • 光學(xué)鍍膜表征和設(shè)計(jì)
  • 半導(dǎo)體器件開發(fā)
  • CIGS 和高級(jí)材料研究
  • 高端電子顯微鏡樣品制備
  • 質(zhì)量保證
  • 故障分析

優(yōu)勢(shì)

Explorer憑借靈活的腔室尺寸可以容納8英寸大的基片。濺射配置適合直流、脈沖直流和射頻濺射，并具備共聚焦濺射能力?？梢赃x擇PEM技術(shù)，該技術(shù)是針對(duì)金屬氧化物和氮化物過渡模式下高速反應(yīng)濺射的閉環(huán)控制系統(tǒng)。

我們提供多種抽真空配置—擴(kuò)散泵、冷泵和渦輪泵—泵可安裝在設(shè)備后部或底部來滿足工藝需求，并提供快速抽氣能力滿足高產(chǎn)能需求。

Integrity薄膜沉積解決方案

電子束和熱蒸發(fā)

對(duì)于大批量生產(chǎn)，Integrity系統(tǒng)是正確的選擇。該系統(tǒng)配置用于高要求的光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體應(yīng)用。該解決方案提供高產(chǎn)量、應(yīng)力控制、高沉積速率、PID控制、最佳粒度和薄膜結(jié)晶學(xué)。丹頓公司提供預(yù)先配置的特定應(yīng)用工具，可以滿足苛刻的過程要求。

用途

  • 激光腔面鍍膜和其他激光應(yīng)用
  • 高/低和窄帶通濾波器
  • 天文和軍事光學(xué)器件
  • 銦沉積用于焦平面陣列組件
  • GaAs和LED器件的金和相關(guān)鍍膜
  • 半導(dǎo)體接地面鍍膜
  • 活動(dòng)CIGS層
  • 醫(yī)療組件

優(yōu)勢(shì)

Integrity的溫度管理系統(tǒng)采用液體冷卻基片臺(tái)用于鍍制細(xì)晶粒和紋理薄膜，以及具有較低熔點(diǎn)的材料沉積，例如，銦。您還可以對(duì)沉積束流進(jìn)行準(zhǔn)直控制，可以消除邊緣效應(yīng)，優(yōu)化產(chǎn)量，并使您能夠完全控制入射角，從而減少剝離問題。

為了更多的工藝靈活性，離子源可以集成用于離子輔助沉積或預(yù)清潔。多種腔室尺寸、固定選項(xiàng)和泵組件可滿足您的生產(chǎn)要求。

特定應(yīng)用的配置

  • 激光腔面鍍膜機(jī)
  • 銦柱沉積




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公司名稱 螣芯科技
聯(lián)系賣家 婁先生 （QQ：1029292366）
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地址 上海市青浦區(qū)
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