半導(dǎo)體器件表面的二次離子質(zhì)譜分析

       二次離子質(zhì)譜（SIMS） 是一種具有超高靈敏度和分辨率的固體表面分析技術(shù)。它幾乎能夠分析任何真空下穩(wěn)定的固體，可以從H到U的全元素及同位素進行分析，檢出限達到ppm~ppb級別。不單是元素，SIMS還能通過分析原子團、官能團、分子信息，而適用于有機物的分析。SIMS技術(shù)現(xiàn)在主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也逐漸擴展到材料、化學(xué)、生物醫(yī)藥、地質(zhì)礦物等各個領(lǐng)域。

       和EDS、XPS、AES等表面分析技術(shù)不同，SIMS可以獲得材料更加表面的信息（<1nm），并且具有更高的空間分辨率和二次離子濃度分辨率，通過質(zhì)譜儀檢測離子的質(zhì)荷比來獲得樣品化學(xué)信息。原理是通過離子槍發(fā)射出具備一定能量的初級離子束，離子束轟擊到材料表面并造成表面粒子發(fā)生濺射。其中帶有正負電荷的二次離子到達質(zhì)譜儀，被質(zhì)譜檢測分析即可得到想要的信息。

       SIMS在半導(dǎo)體行業(yè)可以分析半導(dǎo)體元件元素摻雜分布情況、表面沾污或缺陷、化學(xué)成像、膜層結(jié)構(gòu)分析等。完成這些不同的功能需要使用SIMS的不同檢測模式，按照掃描方式以及離子束種類，SIMS技術(shù)可以分靜態(tài)SIMS（SSIMS）和動態(tài)SIMS（DSIMS）兩種。

       其中SSIMS采用低能量、低密度的離子束，在超高真空下（<10-7Pa）持續(xù)穩(wěn)定的轟擊材料表面微區(qū)，這種掃描方式對樣品的破壞性很小，可以得到固體表面單層原子的信息。通?？梢允褂肧SIMS對半導(dǎo)體元件表面沾污物結(jié)構(gòu)進行分析，或微區(qū)二維化學(xué)成像。而DSIMS則是利用高能量、高密度的濺射離子束對材料進行層層剝離，同時利用分析離子束分析濺射出來的粒子，動態(tài)的剖析樣品在三維空間上的化學(xué)成分分布情況。DSIMS對樣品的破壞性較大，常用于分析薄膜多層結(jié)構(gòu)、研究元素摻雜對半導(dǎo)體器件性能的影響等。杭州微源檢測可以提供德國ION-TOF先進TOF-SIMS儀器檢測服務(wù)以及完善的SIMS技術(shù)解決方案。以下是使用 SSIMS技術(shù)對一種半導(dǎo)體器件進行微區(qū)成像的案例，結(jié)合右上角SEM圖像可以看到器件界面有一處缺陷。通過SSIMS對該微區(qū)進行二次離子成像，可以清晰的看到各金屬元素分辨情況，辨別缺陷處化學(xué)成分。

公司介紹：

       微源檢測，是集研發(fā)分析測試服務(wù)、藥物質(zhì)量研究、基因毒雜質(zhì)研究、元素雜質(zhì)研究、結(jié)構(gòu)確認、生物藥分析服務(wù)等一體，面向全球的獨立第三方生物醫(yī)藥研發(fā)測試服務(wù)公司。

由國內(nèi)領(lǐng)先的科學(xué)服務(wù)企業(yè)上海泰坦科技股份有限公司（簡稱：泰坦科技）參股成立，秉承“讓檢測精準(zhǔn)又高效”的價值觀：

l資質(zhì)實驗室 CMA,CNAS，按照ISO-17025和GMP要求建立的實驗室

l建設(shè)有1500+平米的高標(biāo)準(zhǔn)生物醫(yī)藥實驗室

l專業(yè)技術(shù)研發(fā)團隊成員經(jīng)驗豐富，3天出具檢測結(jié)果

l現(xiàn)有精密分析儀器100+臺，均安裝網(wǎng)絡(luò)版審計追蹤軟件

l已服務(wù)100+生物制藥企業(yè)

l現(xiàn)已成功完成2189個項目

l前期溝通、寄送樣品、檢測分析、出具報告全程一對一服務(wù) 

       微源檢測定制的個性化方案，為客戶提供了專業(yè)可靠，高效率、高質(zhì)量、合規(guī)的檢測分析服務(wù)。協(xié)助客戶解決了檢測,分析,測試等各類問題，縮短了工藝驗證或方法建立所用的時間，降低研發(fā)風(fēng)險，縮短研發(fā)周期，推進產(chǎn)品的市場化進程。