杭州微源檢測技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 研發(fā)分析測試服務(wù), 藥物質(zhì)量研究, 基因毒性雜質(zhì)研究, 元素雜質(zhì)研究, 結(jié)構(gòu)確證, 生物藥分析服務(wù)
微源檢測二次離子質(zhì)譜在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
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二次離子質(zhì)譜如何在半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行應(yīng)用?
二次離子質(zhì)譜是利用質(zhì)譜技術(shù)對固體樣品表面濺射的二次離子進(jìn)行檢測和分析,從而獲得表面成分信息的技術(shù)。所謂濺射是指當(dāng)具有一定能量(通常為數(shù)百至數(shù)萬EV)的初級離子束轟擊固體表面時,激發(fā)樣品表面上某些粒子的過程。這些粒子大部分是中性粒子,少數(shù)是原子、原子團(tuán)簇和帶正負(fù)電荷的分子。這些帶電粒子是二次離子。
Sims可以檢測從氫到鈾的所有元素及其同位素,元素的檢測限可以達(dá)到ppm~ppb水平。由于濺射二次離子不僅包含原子,還包含原子團(tuán)和分子,因此Sims技術(shù)可以檢測無機和有機物質(zhì)。它已廣泛應(yīng)用于微電子、材料、化學(xué)、地質(zhì)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。配備TOF檢測器的二次離子質(zhì)譜儀是目前表面分析技術(shù)中分辨率最高的。TOF-SIMS的分辨率可達(dá)104,深度分辨率可達(dá)1nm,微區(qū)分辨率可達(dá)100nm2,二次離子濃度靈敏度可達(dá)ppm。
根據(jù)掃描模式,SIMS可分為靜態(tài)(SSIM)和動態(tài)(DSIM)。SSIMS要求真空<10-7pa,電子束能量小于5kev,并以低束流密度轟擊材料微區(qū),以確保僅激發(fā)單層原子以實現(xiàn)超高表面分辨率。DSIMS采用高能高密度離子束分層剝離材料,同時交替進(jìn)行高能離子束濺射和質(zhì)譜檢測,檢測不同深度的二次離子信息,動態(tài)分析元素在三維空間的分布。DSIMS的空間分辨率可以達(dá)到亞微米級。
由于Sims具有很高的靈敏度和空間分布檢測能力,特別適用于半導(dǎo)體材料的分析,如半導(dǎo)體元件的元素?fù)诫s和表面污染等。此外,在低元素濃度下,二次離子的產(chǎn)率與濃度有一定的線性關(guān)系,因此Sims也可以通過標(biāo)準(zhǔn)樣品實現(xiàn)定量分析。杭州微源檢測的德國離子TOF利用先進(jìn)的TOF-SIMS儀器測試可以提供完善的SIMS技術(shù)解決方案。下圖是半導(dǎo)體材料薄膜結(jié)構(gòu)的DSIMS分析曲線。從圖中,我們可以看到不同元素和組在材料縱向上的相對變化。
公司介紹:
微源檢測,是集研發(fā)分析測試服務(wù)、藥物質(zhì)量研究、基因毒雜質(zhì)研究、元素雜質(zhì)研究、結(jié)構(gòu)確認(rèn)、生物藥分析服務(wù)等一體,面向全球的獨立第三方生物醫(yī)藥研發(fā)測試服務(wù)公司。
由國內(nèi)領(lǐng)先的科學(xué)服務(wù)企業(yè)上海泰坦科技股份有限公司(簡稱:泰坦科技)參股成立,秉承“讓檢測精準(zhǔn)又高效”的價值觀:
l資質(zhì)實驗室 CMA,CNAS,按照ISO-17025和GMP要求建立的實驗室
l建設(shè)有1500+平米的高標(biāo)準(zhǔn)生物醫(yī)藥實驗室
l專業(yè)技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊成員經(jīng)驗豐富,3天出具檢測結(jié)果
l現(xiàn)有精密分析儀器100+臺,均安裝網(wǎng)絡(luò)版審計追蹤軟件
l已服務(wù)100+生物制藥企業(yè)
l現(xiàn)已成功完成2189個項目
l前期溝通、寄送樣品、檢測分析、出具報告全程一對一服務(wù)
微源檢測定制的個性化方案,為客戶提供了專業(yè)可靠,高效率、高質(zhì)量、合規(guī)的檢測分析服務(wù)。協(xié)助客戶解決了檢測,分析,測試等各類問題,縮短了工藝驗證或方法建立所用的時間,降低研發(fā)風(fēng)險,縮短研發(fā)周期,推進(jìn)產(chǎn)品的市場化進(jìn)程。