微源檢測(cè)為高純?cè)噭┨峁┤自睾完庪x子分析方法包

    前言：集成電路因?yàn)樵趪?guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要地位無可比擬，國(guó)家連續(xù)多年推出各種重要的規(guī)劃、指示以及財(cái)政支持發(fā)展該行業(yè)。因此，高純?cè)噭┳鳛榧呻娐分谱鬟^程中關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，也受到了廣泛的重視。高純?cè)噭┲袩o機(jī)元素的痕量級(jí)分析，以及陰離子的痕量級(jí)分析，成為每個(gè)高純?cè)噭┍匾馁|(zhì)量控制方法。

    微源檢測(cè)購(gòu)置了高分辨ICAP RQ ICP-MS 和 ICS5000+離子色譜，可以為高純?cè)噭┬袠I(yè)提供全套的痕量級(jí)元素及陰離子分析服務(wù)。

1.分析方法

隨著集成電路集成度不斷增加及其臨界線寬不斷減小，越來越需要監(jiān)控器件中離子的粘污情況。生產(chǎn)過程中使用的電子化學(xué)品對(duì)器件的可靠性和產(chǎn)量有重大影響：硅晶片在進(jìn)行工藝加工過程中，常常會(huì)被不同的雜質(zhì)所沾污，如高純?cè)噭┲械膲A金屬雜質(zhì)(Na、Ca等)會(huì)溶進(jìn)氧化膜中，從而導(dǎo)致耐絕緣電壓下降：重金屬(Cu、Fe、Cr、Ag等)若附著在硅晶片的表面時(shí)，將會(huì)使P-N節(jié)電壓降低；雜質(zhì)分子或離子的附著又是造成腐蝕或漏電等化學(xué)故障的主要原因。這些雜質(zhì)沾污問題導(dǎo)致IC的產(chǎn)率下降大約50%。高純?cè)噭┲衟pb(mg／L)甚至更低的如ppt(ng／L)級(jí)金屬離子雜質(zhì)可以使用ICP-MS進(jìn)行分析，非金屬雜質(zhì)的檢測(cè)可以采用離子色譜法，但是因?yàn)橹苯舆M(jìn)樣測(cè)量時(shí)高濃度基體對(duì)待測(cè)陰離子會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重干擾，致使分析中出現(xiàn)保留時(shí)間縮短、基線不規(guī)則改變、弱峰受到干擾和色譜柱、檢測(cè)電極的沾污等問題舊，因此如何合理有效的減小或消除高濃度基體干擾是高純?cè)噭┲泻哿筷庪x子檢測(cè)的一大挑戰(zhàn)，也是高純?cè)噭z測(cè)的熱門．。

高純?cè)噭┲蟹锏臋z測(cè)圖譜

結(jié)論：微源檢測(cè)利用離子色譜法、電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)聯(lián)合分析雜質(zhì)元素在 試 劑 純 度 定 值 中 的 應(yīng) 用,建 立 了 一 種 高 純 試 劑中雜質(zhì)含量的分析方法.通過離子色譜法 測(cè)定陰離子雜質(zhì)含量, ICP-MS 分析高純?cè)噭┲嘘栯x子雜質(zhì)含量.該方法可為亞硝酸根及亞硝酸鹽相關(guān)測(cè)定及標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制提供技術(shù)支持,研制的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可保證亞硝酸根的量值溯源,也可為其他高純?cè)噭┲泻哿侩s質(zhì)元素的分析提供方法借鑒.

公司介紹：

       微源檢測(cè)，是集研發(fā)分析測(cè)試服務(wù)、藥物質(zhì)量研究、基因毒雜質(zhì)研究、元素雜質(zhì)研究、結(jié)構(gòu)確認(rèn)、生物藥分析服務(wù)等一體，面向全球的獨(dú)立第三方生物醫(yī)藥研發(fā)測(cè)試服務(wù)公司。

由國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的科學(xué)服務(wù)企業(yè)上海泰坦科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱：泰坦科技）參股成立，秉承“讓檢測(cè)精準(zhǔn)又高效”的價(jià)值觀：

l資質(zhì)實(shí)驗(yàn)室 CMA,CNAS，按照ISO-17025和GMP要求建立的實(shí)驗(yàn)室

l建設(shè)有1500+平米的高標(biāo)準(zhǔn)生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室

l專業(yè)技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員經(jīng)驗(yàn)豐富，3天出具檢測(cè)結(jié)果

l現(xiàn)有精密分析儀器100+臺(tái)，均安裝網(wǎng)絡(luò)版審計(jì)追蹤軟件

l已服務(wù)100+生物制藥企業(yè)

l現(xiàn)已成功完成2189個(gè)項(xiàng)目

l前期溝通、寄送樣品、檢測(cè)分析、出具報(bào)告全程一對(duì)一服務(wù) 

       微源檢測(cè)定制的個(gè)性化方案，為客戶提供了專業(yè)可靠，高效率、高質(zhì)量、合規(guī)的檢測(cè)分析服務(wù)。協(xié)助客戶解決了檢測(cè),分析,測(cè)試等各類問題，縮短了工藝驗(yàn)證或方法建立所用的時(shí)間，降低研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)，縮短研發(fā)周期，推進(jìn)產(chǎn)品的市場(chǎng)化進(jìn)程。