本例中，我們假設制造商使用邊緣厚度變化作為測試方法。我們在X、Y兩個方向輸入0.2mm的最1大傾斜，因此最1大1的半徑傾斜為sqrt(0.22+0.22)=0.28mm。

表面不規(guī)則度：可以定義為球差和像散的總和，也可以使用Zernike系數(shù)來定義（這主要是測量儀器為干涉儀時才這么定義）。本例中，我們使用第1一種方法，并且設定表面不規(guī)則度為1/5。

元件公差：主要測量系統(tǒng)的“機械軸”對元件的偏差程度。

機械組裝和補償器

本例中，系統(tǒng)是由兩個平凸透鏡構成，因此我們可以假設透鏡表面中平的那一面用來組裝對位，也就是這一表面會靠在組裝結(jié)構上，同時，假設兩透鏡之間的距離200mm可以在組裝以及使用時調(diào)整，這樣該激光擴束器就可以用在不同的波長上。

觀察表面2和表面3構成的透鏡，表面3是平面，也就是表面3會靠在機械結(jié)構上，所以可以使用TIRX和TIRY來定義表面2相對于表面3的楔形公差。同時，我們不需要指1定表面3的TIRX和TIRY，這些可以刪除掉。

類似地，對于表面4和表面5構成的透鏡，表面4靠在機械結(jié)構上。因此表面5的楔形公差是相對于表面4的，所以應該刪除表面4的TIRX和TIRY。

其中第1一行包含七個參數(shù)，其中nx和ny（整數(shù)）為每個方向上網(wǎng)格點的數(shù)量且nx和ny必須大于等于5；unitflag為數(shù)據(jù)的單位，0表示毫米，1表示厘米，2表示英寸，3表示米；delx和dely（浮點數(shù)）為網(wǎng)格點陣在x和y方向上的間距；xdec和ydec（浮點數(shù)）為坐標偏移量（可選項）。

剩下的nx*ny行的數(shù)據(jù)每行都包括四個浮點數(shù)和一個整數(shù)（可選項）。其中四個浮點數(shù)分別為Z矢高；矢高在X方向的導數(shù)；矢高在Y方向的導數(shù)；矢高的交叉導數(shù)d/dxdy。第五個可選數(shù)據(jù)nodata用來表示之前的數(shù)據(jù)是否有效，0或空行表示有效的數(shù)據(jù)，其他整數(shù)表示無效數(shù)據(jù)。當nodata為其他時，整行的數(shù)據(jù)將被替換為0，并且計算只考慮基礎面的矢高值。如果輸入的數(shù)據(jù)不是數(shù)字，則系統(tǒng)默認將該數(shù)據(jù)替換為零。