OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine2200M-R
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OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine2200M-R
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine2200M-R
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine2200M-R

OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵-TGkine2200M-R

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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 OSAKA
型號 TGkine2200M-R
吸氣口法蘭 ISO-B250 / VG250
排氣口法蘭 KF40 / KF50
排氣速度N2 (L/s) 2200
起動時間 ≦10min
排氣速度H2 (L/s) 1800
zui大壓縮比N2 >2×108
zui大壓縮比H2 3×103
安裝方向 任意
商品介紹

OSAKA大阪真空

TGkine-R系列磁懸浮復合分子泵

具備了磁懸浮復合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列穩(wěn)定的產(chǎn)品性能及廣受好評的特性，本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲功能，即使在維修期間更換控制器，也能夠傳輸數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品特點：

 省電設(shè)計      
 在真空泵本體中，可存儲設(shè)置參數(shù)，運轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。  
 ※即使在維護階段更換控制器，也可實現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。      
 支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）      
 適用于國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
產(chǎn)品應用：
半導體制造設(shè)備
 FPD制造設(shè)備
 太陽能電池制造設(shè)備
 玻璃/鏡片等光學部件加工
 鍍膜工藝
 加速器/宇宙環(huán)境模擬器
技術(shù)參數(shù)：


型號※1
TGkine2200M-R
吸氣口法蘭
ISO-B250 / VG250
排氣口法蘭※2
KF40 / KF50
排氣速度
N2 (L/s)
2200
N2

(付帶金屬保護網(wǎng)) (L/s)
2100
H2 (L/s)
1800
zui大壓縮比
N2
>2×108
H2
3×103
zui大氣體流量※3、※4
N2 (sccm)
7000
Ar (sccm)
3000
起動時間
(min)
≦10
停止時間
(min)
≦10
到達壓力※5
(Pa)
<2×10-7
(Torr)
<1.5×10-9
zui大排氣口壓力※6
(Pa)
220
(Torr）
1.65
推薦前級泵
(L/min)
≧2000
安裝方向
任意
質(zhì)量
(kg)
59
 



聯(lián)系方式
公司名稱 上海盈熾商貿(mào)有限公司
聯(lián)系賣家 魏經(jīng)理
手機 㜉㜊㜃㜉㜊㜄㜃㜅㜆㜌㜃
地址 上海市閔行區(qū)