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上海磊微科學(xué)儀器有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 儀器儀表
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化學(xué)氣相沉積CVD備件-HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX
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聯(lián)系人 俞女士
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發(fā)貨地 上海市
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商品介紹
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品牌 HORIBA
產(chǎn)地 日本
適用設(shè)備 氣相沉積設(shè)備
型號(hào) SEC-Z533KVX NF3:40SLM
生產(chǎn)年份 2007
商品介紹
品名：氣體流量控制器（舊）
產(chǎn)地：日本產(chǎn)
用途：安裝在氣相沉積設(shè)備中，自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制氣體流量
原理：采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等，便實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量流量控制器的功能
功能：安裝在氣相沉積設(shè)備中，自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制用于控制氣體流量
品牌：HORIBA
型號(hào)：SEC-Z543KVX_N2:120SLM
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公司名稱 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
聯(lián)系賣家 俞女士
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地址 上海市
俞女士
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