fcbga封裝清洗機(jī)的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的， 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。 

fcbga封裝清洗機(jī)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。 以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，說明這些作用。等離子體對(duì)油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)；但不同之處是其在低溫情況下發(fā)生的 “燃燒 ”。 其基本原理：在氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。 從以上可以看出，用等離子體清除油污的過程可以理解為有機(jī)大分子逐步降解的過程，最終形成的是水和二氧化碳等小分子，這些小分子以氣態(tài)形式被排除。 

氧氣等離子體形成過程即可用下列6個(gè)反應(yīng)式來表示： 

O2——O2 + e （1） 

O2——2O （2） 

O2 + e——O2 + e （3） 

O2 + e——O2 + hv + e （4） 

O2 + e——2O + e （5） 

O2 + e——O + O+ + 2e （6） 

fcbga封裝清洗機(jī)第一個(gè)反應(yīng)式表示氧氣分子在得到外界能量后 變成氧氣陽離子，并放出自由電子的過程。第二個(gè)反應(yīng)式表示氧氣分子在得到外界能量后分解形成 兩個(gè)氧原子自由基的過程。第三個(gè)反應(yīng)式表示氧氣 分子在具有高能量的激發(fā)態(tài)自由電子作用下轉(zhuǎn)變成 激發(fā)態(tài)。第四第五反應(yīng)式則表示激發(fā)態(tài)的氧氣分子 進(jìn)一步發(fā)生轉(zhuǎn)變，在第四個(gè)反應(yīng)式中，氧氣回到通常狀態(tài)的同時(shí)發(fā)出光能（紫外線）。在 第五個(gè)反應(yīng)式中，激發(fā)態(tài)的氧氣分子分解成兩個(gè)氧原子自由基。第六個(gè)反應(yīng)式表示氧氣分子在激發(fā)態(tài)自由電子的作用下，分解成氧原子自由基和氧原子陽離子的過程。當(dāng)這些反應(yīng)連續(xù)不斷發(fā)生，就形成里氧氣等離子體。其它氣體的等離子體的形成過程也可用相似的反應(yīng)式描述。當(dāng)然實(shí)際反應(yīng)要比這些反應(yīng)式描述的更為復(fù)雜。 

等離子體作為物質(zhì)存在的第四態(tài)，用來進(jìn)行表面處理具有簡(jiǎn)捷、高效、環(huán)保等特點(diǎn)，可以廣泛地應(yīng)用于各類材料。表面臟污，特別是經(jīng)機(jī)械和濕式化學(xué)清洗后仍存在的殘留物通常是有機(jī)物。很多溶劑無法完全除去的油脂、脫模劑、有機(jī)硅。如果表面上仍殘留這些物質(zhì)，則會(huì)妨礙所有后續(xù)的處理步驟，特別是會(huì)影響粘合與涂層。這些物質(zhì)大多可通過氧氣等離子體，還可通過空氣等離子體徹底清除。低溫氧等離子體處理不僅可以改善材料表面親水性，也可以提高表面導(dǎo)電性和材料粘接性。因此，選擇合適的等離子體處理方法可以有效地改善材料的表面性能，方便人們的生產(chǎn)生活。