四川7臺(tái)光刻機(jī)-四川納米光刻機(jī)-鑫南光-產(chǎn)品齊全
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
¥248000.00
≥1
¥242000.00
≥3
店鋪主推品 熱銷潛力款
쑥쑝쑞쑡쑢쑥쑢쑣쑣쑡쑞
在線客服
主要構(gòu)成
主要由對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)和附件箱等組成。
主要技術(shù)指標(biāo):
1、曝光類型:?jiǎn)蚊?;配?"LED用曝光頭
2、曝光面積:110×110mm;
3、曝光照度不均勻性:≤±3%;
4、曝光強(qiáng)度:0~30mw/cm2可調(diào);
5、紫外光束角:≤3?0?8;
6、紫外光中心波長(zhǎng):365nm;
7、紫外光源時(shí)間:≥2萬小時(shí);
8、采用電子快門;
9、曝光分辨率:1μm
10、顯微鏡掃描范圍:X: ±15mm Y:±15mm;
11、對(duì)準(zhǔn)范圍:X、Y 調(diào)節(jié) ±4mm;Q向調(diào)節(jié)±3°;
12、套刻精度:1μm;
13、分離量;0~50μm可調(diào);
14、曝光方式:接觸式曝光,可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;
15、找平方式:氣浮找平;
16、掩模版尺寸:≤127×127mm;
17、基片尺寸:≤Φ102mm(或者102×102mm);
18、基片厚度:≤5 mm;
19、曝光定時(shí):0~999.9秒可調(diào);
聯(lián) 系 人:劉先生/康先生/左先生
移動(dòng)電話:139-0818-7709(劉總)
177-1362-6490(康經(jīng)理)
135-5119-7043(左經(jīng)理)
電 話:86 28 85730519
傳 真:86 28 85730589
郵 編:610200
地 址:中國(guó) 四川 雙流縣 蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路3座