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四川光刻機(jī)售價-四川28nm國產(chǎn)光刻機(jī)-鑫南光-產(chǎn)品齊全
價格
訂貨量(臺)
￥248000.00
≥1
￥242000.00
≥3
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯(lián)系人 劉經(jīng)理
莸莾莼莵莶莸莶莽莽莵莼
發(fā)貨地 四川省成都市
在線客服
商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 鑫南光
售后服務(wù) 24小時服務(wù)
發(fā)貨產(chǎn)地 成都
是否跨境貨源 否
加工定制 是
可售賣地 全國
用途 它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。
類型 光刻機(jī)
工作電壓 240V
別名 曝光機(jī)
曝光面積 Φ6"，4"，3"
曝光最小分辨率為 3μm
光強(qiáng) ≤10mw/cm2
片對版的預(yù)定位精度 ≤±0.1mm
商品介紹
主要構(gòu)成
主要由對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。
主要技術(shù)指標(biāo)：
1、曝光類型：單面；配置4"LED用曝光頭
2、曝光面積：110×110mm；
3、曝光照度不均勻性：≤±3%；
4、曝光強(qiáng)度：0～30mw/cm2可調(diào)；
5、紫外光束角：≤3?0?8；
6、紫外光中心波長：365nm；
7、紫外光源時間：≥2萬小時；
8、采用電子快門；
9、曝光分辨率：1μm
10、顯微鏡掃描范圍：X： ±15mm Y：±15mm；
11、對準(zhǔn)范圍：X、Y 調(diào)節(jié) ±4mm；Q向調(diào)節(jié)±3°；
12、套刻精度：1μm；
13、分離量；0～50μm可調(diào)；
14、曝光方式：接觸式曝光，可實現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光；
15、找平方式：氣浮找平；
16、掩模版尺寸：≤127×127mm；
17、基片尺寸：≤Φ102mm(或者102×102mm)；
18、基片厚度：≤5 mm；
19、曝光定時：0～999.9秒可調(diào)；
聯(lián) 系 人：劉先生/康先生/左先生
移動電話：139-0818-7709（劉總）
177-1362-6490（康經(jīng)理）
135-5119-7043（左經(jīng)理）
電 話：86 28 85730519
傳 真：86 28 85730589
郵 編：610200
地 址：中國 四川 雙流縣 蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路3座
聯(lián)系方式
公司名稱 成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司
聯(lián)系賣家 劉經(jīng)理
手機(jī) 莸莾莼莵莶莸莶莽莽莵莼
地址 四川省成都市
劉經(jīng)理
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