射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是八十年末期在我國新興的高科技領(lǐng)域,應(yīng)用于射頻濺射,PECVD 化學(xué)氣相沉積,反應(yīng)離子刻蝕等設(shè)備中。
射頻電源產(chǎn)生等離子的原理，是在一個密閉的真空壓力容器內(nèi)，利用真空泵獲得一定的真空度，射頻被饋入到真空室的兩個極板之間。在兩個極板之間產(chǎn)生一個變電場。氣體在電場上被電離，產(chǎn)生相對應(yīng)的離子。帶電離子被加速不斷的碰撞氣體分子產(chǎn)生級聯(lián)效應(yīng)。就這樣產(chǎn)生了輝光，從而產(chǎn)生了等離子體。

射頻電源是一種大功率開關(guān)電源產(chǎn)品，其作用原理也是這種，作為一種大功率開關(guān)電源在鍍膜行業(yè)中廣泛運(yùn)用，因為它的功能具有高精密，率，大功率和高工藝制程的可控性，所以才會在現(xiàn)代工業(yè)鍍膜行業(yè)中被廣泛運(yùn)用，并且這些行業(yè)是離不開它支撐的，是鍍膜工藝中不可缺少的高科技高新電源產(chǎn)品，電源產(chǎn)品有中頻，直流，射頻等等方面，在它使用的行業(yè)中也包括很多種，例如：太陽能、玻璃鍍膜、半導(dǎo)體晶圓、光磁存儲媒體、平板顯示器、類金鋼石鍍膜、工具鍍鈦、裝飾鍍等。AR電源可是工業(yè)領(lǐng)域電源的，工業(yè)朝正確的方向前進(jìn)，品質(zhì)可靠，性能穩(wěn)定，使用簡單。

射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻范圍（約3KHz～300GHz）內(nèi)、具有一定功率的電源。
射頻電源已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備；LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)；科學(xué)實驗中的等離子體發(fā)生；射頻感應(yīng)加熱；；常壓等離子體消毒清洗等。

射頻電源的工作原理：
射頻收發(fā)核心電路射頻即Radio Frequency，通?？s寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。
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