Advanced Energy 的 OR4000 多通道光纖測(cè)溫儀 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 產(chǎn)品系列開(kāi)發(fā)，為眾多溫度測(cè)量應(yīng)用提供了業(yè)界領(lǐng)先的非接觸性溫度測(cè)量。 OR4000T 向要求最苛刻的溫度測(cè)量應(yīng)用提供多通道功能和高達(dá) 2 kHz 的讀取速率。 OR4000E 還增添了實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償功能。 該儀器采用模塊化設(shè)計(jì)，能夠快速調(diào)整以滿(mǎn)足各個(gè)工藝應(yīng)用的獨(dú)特要求。

提高溫度測(cè)量的精度測(cè)量

Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纖測(cè)溫儀 (OFT) 以一個(gè)緊湊的模塊化平臺(tái)提供精確的非接觸式溫度和輻射率測(cè)量，旨在滿(mǎn)足各個(gè)獨(dú)特應(yīng)用的需求。 AE 的 光纖測(cè)溫儀 非常適合在控制最嚴(yán)格的應(yīng)用中測(cè)量溫度，這類(lèi)應(yīng)用需要保證一致且可重復(fù)的溫度讀數(shù)以確保工藝成功。

根據(jù)應(yīng)用可選擇工藝設(shè)備有：

? OR4000T 用于快速熱處理 (RTP)、激光退火、高密度電漿化學(xué)氣相沉積(HDP-CVD)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積

(MOCVD)、原子層沉積 (ALD)、紫外線(xiàn)硬化、太陽(yáng)能電池封裝和硬盤(pán) (HDD) 處理。

? OR4000E 用于外延 (Epi)、化學(xué)氣相沉積 (CVD)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積 (MOCVD)以及襯底發(fā)射率發(fā)生變化的其他工藝。

增強(qiáng)重復(fù)性并盡量減少偏差

傳統(tǒng)的熱電偶測(cè)量方案不適合許多應(yīng)用領(lǐng)域，由于熱傳遞效應(yīng)，與基底進(jìn)行物理接觸會(huì)造成損害并導(dǎo)致讀數(shù)不精確。 OR4000T 和 OR4000E 在原位測(cè)量直接目標(biāo)的溫度，與被測(cè)量的物體不接觸，可以增強(qiáng)點(diǎn)到點(diǎn)均勻性并提高溫度讀數(shù)的精確度。 

每個(gè) OFT 系統(tǒng)都由一個(gè)控制器、一個(gè)光學(xué)傳感器和多條光纜組成。 傳感器探測(cè)目標(biāo)（一般是襯底）釋放出的近紅外線(xiàn) (NIR)。 之后光纖將近紅外線(xiàn)光從傳感器傳輸?shù)娇刂破鳎瑐鞲衅鲗⒉杉墓廪D(zhuǎn)換成溫度讀數(shù)。 使用光纖可以對(duì)控制器進(jìn)行遠(yuǎn)程定位，使之處于一個(gè)遠(yuǎn)離工藝腔室的可控環(huán)境中。

每個(gè)傳感器都經(jīng)過(guò)定制設(shè)計(jì)，以滿(mǎn)足每個(gè)獨(dú)特應(yīng)用的功能和機(jī)械要求。 結(jié)果實(shí)現(xiàn)： 可靠測(cè)量、更高重復(fù)性和更高 

良品率。  

提高生產(chǎn)率、產(chǎn)額和產(chǎn)量

OR4000T 和 OR4000E 都提供了高速性能，讀取速率高達(dá) 2 kHz，可以精確跟蹤快速的溫度變化。  在動(dòng)態(tài)應(yīng)用中，這可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)溫度控制并優(yōu)化工藝良品率。