NRL90A干式真空泵ULVAC
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羽眾光科技(武漢)有限公司

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商品參數
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商品介紹
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聯系方式
品牌 ULVAC
型號 NRL90A
速率 116(1933)~140(2333)
質量 188kg
電機 3.7kw
商品介紹

    特長
    NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
    低噪音、低振動
    優(yōu)良的耐腐蝕性
    標準零部件采用高硬度并經過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
    選購件
    可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

    用途
    ?  活性氣體(CVD、刻蝕等)。
    ?  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。
    ?  用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
    ?  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。
    ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。


聯系方式
公司名稱 羽眾光科技(武漢)有限公司
聯系賣家 蘭賓瑞 (QQ:1272018451)
電話 㠖㠒㠔-㠓㠘㠒㠛㠓㠗㠔㠒
手機 㠗㠔㠛㠖㠔㠗㠘㠔㠗㠙㠕
地址 湖北省武漢市
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