粉末顆粒懸浮立式管式爐又稱(chēng)為流化床立式管式爐，專(zhuān)門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。

立式管式爐燒結(jié)的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過(guò)砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動(dòng)下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內(nèi)），進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。

顆粒懸浮立式管式爐是一款小型開(kāi)啟式立式管式爐，其爐管直徑為φ30mm、50mm、80mm可選，適合于對(duì)樣品在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下吊燒和淬火。如果選用不同的配件與裝置搭配，其也可以當(dāng)作一款流化床立式管式爐來(lái)使用，可專(zhuān)門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)，此時(shí)，在高純石英爐管內(nèi)部嵌有石英砂芯，其孔徑在5-15um內(nèi)。燒結(jié)的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過(guò)砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動(dòng)下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內(nèi)），進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。

1200℃帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)、臥式流化床爐、立式流化床爐。

立式管式爐主要用途：

顆粒懸浮立式管式爐是一款流化床立式管式爐，專(zhuān)門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)。反應(yīng)氣體和均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū)，固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)

顆粒懸浮立式管式爐的爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開(kāi)，拿出石英管，取出反應(yīng)后的顆粒。

注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量等

立式管式爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨(dú)定制。.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)
流化床立式管式爐是門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)。反應(yīng)氣體和均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開(kāi)，拿出石英管，取出反應(yīng)后的顆粒。注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量等

顆粒懸浮立式管式爐技術(shù)參數(shù)

顆粒懸浮立式管式爐使用注意事項(xiàng)：

1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2、由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加*安全

3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

5、石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

6、由對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等