概述：該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、鍍膜前的表面清理。清洗順序純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗，酸洗、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性安全達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平，價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給是進(jìn)口設(shè)備無法比擬的

 主要特點(diǎn)：采用進(jìn)口PP板

        適用與2-6寸硅片清洗

        超聲功率強(qiáng)，性能穩(wěn)定

清洗介質(zhì)

采用超聲波清洗，一般有兩種清洗劑：化學(xué)清洗劑和水基清洗劑。清洗介質(zhì)是化學(xué)作用，而超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結(jié)合，以對物體進(jìn)行充分、徹底的清洗。

功率密度

超聲波的功率密度越高，空化效果越強(qiáng)，速度越快，清洗效果越好。但對于精密的、表面光潔度甚高的物體，采用長時(shí)間的高功率密度清洗會(huì)對物體表面產(chǎn)生“空化”腐蝕。

頻率

超聲波頻率越低，在液體中產(chǎn)生空化越容易，作用也越強(qiáng)。頻率高則超聲波方向性強(qiáng)，適合于精細(xì)的物體清洗。

一般來說，超聲波在30℃~40℃時(shí)空化效果最好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。

通常實(shí)際應(yīng)用超聲波清洗時(shí)，采用40℃~50℃的工作溫度。