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背靶綁定服務
鑒于陶瓷靶材導熱性能不好、易裂的特點,我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料,高純度無氧銅背靶,進行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻,導熱快,可降低靶材碎裂的可能性,提高靶材的使用壽命。
技術參數如下
工作溫度(℃) 150
綁定面積 100%全銦焊綁定
粘結層厚度(mm) 0.2±0.003
導熱系數(w/mk) 83
熱膨脹系數(K-1) 32.1x10-6
電阻率(ohm-cm) 8x10-6
