北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司主營：“真空箱式氦檢漏設(shè)備”,“LNG低溫容器抽真空設(shè)備”

真空設(shè)備氦檢漏

工作原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

①單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；第1級放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。。

在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉(zhuǎn)半徑可計算。

可見，當(dāng)B和U為定值時，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。(me-1)2=4，即He+的質(zhì)荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

②雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

由于兩次分析，減少了非氦離子到達收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場，使離子在進入第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過第1個分析器，但是，經(jīng)第二次加速進入第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102；對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

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真空設(shè)備檢漏與維修

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真空設(shè)備檢漏

檢漏方法的分類

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

(1)加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體(稱試驗氣體或者探漏氣體)或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時，氣體(或液體)便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有:

水壓法:將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2~3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。

氣壓法:將試驗氣體(空氣或其他氣體)壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有:聲響、火焰、氣泡指示法(水槽法、皂膜法);氨檢漏法;鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放1射性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫(常用850~950℃)下產(chǎn)生正離子發(fā)射(主要是堿金屬離子)，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850~950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示，儀表還設(shè)有揚聲器，當(dāng)探

出漏孔時，儀器便發(fā)出聲音。

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯fang、四LV化碳等，其中以氟利昂無du、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6~10-7Pa·m3/s。

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