實(shí)驗(yàn)表面處理機(jī)-GSL-1100X-PJF-A型-等離子表面處理儀
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實(shí)驗(yàn)表面處理機(jī) GSL-1100X-PJF-A型 等離子表面處理儀
儀器概述:
GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件的環(huán)境下,迅速活化和清理材料(如單晶片、光學(xué)元件、塑料等)表面雜質(zhì)。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層,預(yù)先進(jìn)行表面處理的可靠選擇。
技術(shù)參數(shù):
1、電源:110/220V 50Hz/60Hz <100W
2、輸出頻率:20KHz-23KHz
3、離子束頭:圓頭10mm-12mm,矩形頭15mm-18mm
4、輸入氣壓:0.275MPa
5、工作氣氛:空氣、氮?dú)狻鍤?、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體
6、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa
7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH
8、工作臺(tái):自動(dòng)控制三維工作臺(tái),X、Y軸電動(dòng)調(diào)節(jié),Z軸手動(dòng)調(diào)節(jié)
9、真空吸盤:?100mm
10、X軸行程:200mm
11、Y軸行程:100mm
12、Z軸行程:50mm
13、產(chǎn)品規(guī)格::600mm×600mm×1250mm
14、重量:55kg
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、高速處理物件表面,操作簡(jiǎn)單、。
2、無(wú)需真空和腔室環(huán)境。
3、小巧實(shí)用、成本低。
4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。
5、已通過(guò)CE認(rèn)證。