工廠低價轉(zhuǎn)讓12臺SPEEDFAM日本16B/20B/28B雙面研磨機 拋光機  

驅(qū)動方式：全自動

類型：轉(zhuǎn)軸

工作方式：渦輪研磨機

研磨盤尺寸 1112*380*50 1145*349*50

最小研磨厚度：0.2mm

最大研磨厚度:50mm

游星輪片數(shù)量：5片

最大研磨直徑：330

下磨盤轉(zhuǎn)速：0-60/rpm

過濾干燥汽源 : 0.4-0.6mpd

游輪參數(shù)：英制：Z=200 DP12

主電機：380V/15KW/1460rpm

下研磨盤跳動:0.05

修正輪修正平行度:<0.005

太陽輪徑向跳動:0.12

內(nèi)齒圈徑向跳動:0.2

標(biāo)配修正輪5個

水泵: 0.15KW

外形心尺寸 :2300*1800*2800

機器重量:6500KGSPEEDFAM-16B雙面研磨機適用范圍

藍(lán)寶石基片、光學(xué)光電子材料、觸屏玻璃、蓋板玻璃、硅片、陶瓷片等非金屬的雙面研磨拋光 .不銹鋼.鋁合金，鉬片等金屬材質(zhì)雙面研磨拋光。

SPEEDFAM-16B雙面研磨機性能特點

1.本機主體采用一次成型工藝，合理的結(jié)構(gòu)大大提升整機剛性度

2上盤系統(tǒng)設(shè)計了三點平衡系統(tǒng)，保證了上盤落下時與下盤的平行度

3齒圈，太陽輪、液盆同步齒輪抬升，任意位置自鎖可停

4拋光機供液系統(tǒng)采用雙通道冷卻，有效降低拋光過程中盤面的溫度

5工作過程中水液自動分流，水路液路分離。

6傳動系統(tǒng)三電機聯(lián)合拖動，變頻調(diào)速，實現(xiàn)軟啟動軟停止 。