上德國(guó)皮特沃爾特斯Peter Wolters雙端面磨床 

可應(yīng)用于不同工藝 根據(jù)客戶對(duì)加工工藝的要求來配置機(jī)床

采用高強(qiáng)度鑄鐵機(jī)座 機(jī)床振動(dòng)小、變形小

應(yīng)用高精度軸承 保證機(jī)床剛性和加工精度

上工作盤安裝在可自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臂上 快遞方便地裝卸工件及更換工作盤

三個(gè)獨(dú)立可調(diào)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(上工作盤、下工作盤及內(nèi)齒圈驅(qū)動(dòng)) 可在最高厚度尺寸精度要求下同時(shí)達(dá)到最優(yōu)的平面度、平行妒忌

表面光潔度

上、下工作盤內(nèi)部都帶有具有專利技術(shù)的迷宮式內(nèi)封閉冷卻系統(tǒng) 最大程度地保證了整個(gè)工作盤盤面的溫度穩(wěn)定性,從而保證了其平

面度

可配備不同程度的自動(dòng)化上、下料裝置(選項(xiàng)) 降低單件生產(chǎn)成本、縮短裝卸工件的時(shí)間以及輔助時(shí)間，保證穩(wěn)

定的工件質(zhì)量

盤裝置增加機(jī)械的安全裝置，在擺片、維修等狀態(tài)下不會(huì)因突然故1、 拋光拖動(dòng)電機(jī)：5.5KW 380V 1440rpm。

2、 太陽輪拖動(dòng)電機(jī)：2.2KW 380V 1440rpm。

3、 上拋盤規(guī)格：φ630mm×φ240mm×30mm。

4、 下拋盤規(guī)格：φ630mm×φ240mm×30mm。

5、 游輪參數(shù)：公制Z=114 M=2。

6、 游輪數(shù)量：5片。

7、 最小拋光厚度：0.4mm/φ75mm。

8、 最大拋光厚度：100mm。

9、 下拋盤轉(zhuǎn)速范圍：0—50rpm。

10、 需配備空氣源壓力：0.5—0.6Mpa

11、 下拋盤的端面跳動(dòng)量：≤0.04mm。

12、 下拋盤的平面度：0.015 mm。

13、 設(shè)備外形尺寸：（長(zhǎng)×寬×高）1400mm×1200mm×2400mm。

14、 重量： 約2800kg。

15、 承片量：?jiǎn)伪P：4片/φ75 mm、3片/φ100 mm

5盤：20片/φ75 mm、15片/φ100 mm

下降，增加了安全性。

通過改變內(nèi)齒圈、太陽輪的速度，調(diào)整實(shí)現(xiàn)游星輪的正、反轉(zhuǎn)。

產(chǎn)品用途：

本機(jī)器主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其它金屬、