水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過近年來電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

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去離子水就是將水通過陽(yáng)離子交換樹脂 ,則水中的陽(yáng)離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽(yáng)離子H+被置換到水中，并和水中的陽(yáng)離子組成相應(yīng)的無機(jī)酸；含此種無機(jī)酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強(qiáng)堿性陰離子）。

但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過近年來電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤旋上升，經(jīng)過汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預(yù)熱器的加熱源，預(yù)熱原料水后從預(yù)熱器不凝結(jié)水排放出口排出機(jī)外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。