湖北銳誠真空科技有限公司主營：氦檢設(shè)備，氦檢漏設(shè)備，氦質(zhì)譜檢漏儀，真空箱氦檢漏

真空設(shè)備主要應(yīng)用在哪些方面

湖北銳誠真空科技有限公司坐落于湖北鐘祥。是一家從事真空應(yīng)用設(shè)備、制造及真空技術(shù)服務(wù)的專業(yè)化公司。公司具體業(yè)務(wù)涉及到科學(xué)研究、電力工程、制冷、電力能源、新能源技術(shù)、新型材料、環(huán)保等領(lǐng)域。產(chǎn)品主要包括：真空箱式氦檢漏、蒸發(fā)器氦檢漏、冷凝器氦檢漏、加油管路氦檢漏、鋼桶氦檢漏、制冷管氦檢漏、同軸管氦檢漏、氦檢漏設(shè)備、高壓氦氣檢漏設(shè)備、充氣柜檢漏設(shè)備等。

鍍膜設(shè)備在傳感器方面的應(yīng)用

在傳感器中，多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學(xué)量及其變化來說，極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外，其中大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì)，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多。

鍍膜設(shè)備在集成電路制造中的應(yīng)用

晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)?？梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。真空箱內(nèi)設(shè)兩個工件接頭。真空箱采用快速接頭與工件的接口間柔性軟管連接，方便快捷，大大提高了操作效率。

真空箱開門機(jī)構(gòu)：采用自動側(cè)開門方式。

真空泵組：真空泵組是系統(tǒng)檢漏需具備的必要條件，是真空獲得的重要工具。本系統(tǒng)配置飛越SV300產(chǎn)品為前級泵，采用鮑斯股份BSJ-150羅茨泵，性能穩(wěn)定可靠，在高真空下抽速更快；檢漏系統(tǒng)配制采用耐大氣的飛越RV16機(jī)械泵為前級泵。

真空測量裝置：采用德國英富康真空計，使測量更加。

管道閥門：真空閥門、真空管道均采用不銹鋼材料制成，為獲得較好的真空提供了必要的物質(zhì)基礎(chǔ)。執(zhí)行機(jī)構(gòu)：真空箱開關(guān)門采用直線導(dǎo)軌滑動系統(tǒng)，手動送工件和自動開關(guān)門可靠、安全。

1、氦氣源及減壓器：氦氣和SF6純度為  99.99％（檢漏用、用戶自備）；氮氣：99%純度以上的瓶裝氣體（帶減壓閥），壓力＞0.5Mpa（清氦用、用戶自備）；

2、SF6：瓶裝氣體（帶減壓閥），壓力＞0.2Mpa，帶減壓閥，檢測完后充注用（用戶自備）；

3、待檢工件要求清潔、干燥。

4、環(huán)境溫度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

5、相對濕度：   ≤80%；

6、設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的廠房內(nèi)。