山東博山真空泵廠有限公司主營：博山真空泵,真空機(jī)組,真空成套設(shè)備,真空泵,抽放泵

山東博山真空泵廠有限公司，專業(yè)生產(chǎn)水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、MVR成套系統(tǒng)。公司坐落于歷史悠久的齊魯名城--淄博。

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。

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山東博山真空泵廠有限公司是真空泵行業(yè)首批獲得煤礦安全標(biāo)志證書的單位之一，是中國真空協(xié)會團(tuán)體會員單位，本公司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良、產(chǎn)品采用CAD輔助設(shè)計(jì)、機(jī)械加工采用數(shù)控設(shè)備。

比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下及有毒氣體就會容易發(fā)生危險(xiǎn)。

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山東博山真空泵廠有限公司(原山東博山真空泵廠)是真空泵行業(yè)首批獲得煤礦安全標(biāo)志證書的單位之一，是中國真空協(xié)會團(tuán)體會員單位，本公司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良、產(chǎn)品采用CAD輔助設(shè)計(jì)、機(jī)械加工采用數(shù)控設(shè)備。

水環(huán)真空泵現(xiàn)在國外的市場基本上是主要是油循環(huán)樣式，它主要是靠一個旋轉(zhuǎn)的輪工作的，輪在一個腔室中旋轉(zhuǎn)，腔中充有流體（油、有的是水）靠流體在一周中的體積周期性變化--導(dǎo)致其余的空腔體積的周期變化，對吸入管道中的氣體進(jìn)行排出和吸入。并形成真空。而水泵是靠離心力將流體甩出去，同時(shí)形成負(fù)壓吸引其他流體不斷進(jìn)入泵體。這樣持續(xù)不斷，靠消耗電機(jī)電能驅(qū)動泵輪來轉(zhuǎn)化成流體的動能和勢能。

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