通常來說，光譜儀有三個重要組成部分：狹縫（Slit）、色散元件（Dispersive element）、檢測器（Detector）。在光譜儀性能評價中，重要的評價指標(biāo)之一便是色散能力（Dispersive power）。
簡單而言，就是色散元件能夠把復(fù)色光分散到多寬的范圍上，光被分散地越寬，光譜儀的分辨率自然越好。
可以看到，焦平面越遠，刻線越密，色散能力越強，后者受到光柵制作工藝限制，傳統(tǒng)的光譜儀往往在上下功夫，這也是光譜儀做的比較大的原因。
然而，值得注意的是，你把光譜儀的分辨能力提得越高，雖然波長相近的光能夠被區(qū)分地更好，但其代價就是一定長度的detector上所能展現(xiàn)的光譜范圍變小了，所以，當(dāng)光柵光譜儀發(fā)展到一定階段后，人們發(fā)現(xiàn)重要的問題又出現(xiàn)在了檢測器（detector）這一側(cè)。
檢測器
感光元件是直讀光譜儀的核心，元器件的好壞關(guān)系到精密儀器的精度。直讀光譜儀（OES）的核心元件有三種,一種是廣泛使用的CCD（電荷耦合）元件；另一種是CMOS（互補金屬氧化物半導(dǎo)體）器件,還有一種是PMT光電倍增管。
以上的器件都是光譜儀的核心器件，元件的質(zhì)量對光譜儀的種類來說很重要。

一些外界因素引發(fā)的光強值下降。氬氣不純是一個重要因素。 不純氬氣中水分等雜質(zhì)會影響激發(fā)效果，降低光強值,而且水分經(jīng)激發(fā)電離后產(chǎn)生氧，氧會吸收P、S等短波元素使這些元素的光強值下降,從而分析結(jié)果出現(xiàn)偏差?？梢栽跉鍤夤艿乐屑又脷鍤鈨艋b置以提高純凈度。但有些如高含量試樣對氬氣純度要求太高;即使是高純氬也不能完全激發(fā)，這時需適當(dāng)延長預(yù)沖氬的時間或提高激發(fā)光源的頻率,使試樣完全激發(fā)提高光強值,以得到準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

直讀光譜儀接地要求：1、接地電阻的要求，⑴電阻要小于2Ω，接地電阻的大小可以定義接地電流的大小，接地電阻值越小，接地裝置的接地電壓值也就越小。這就是說接地電阻值的大小，標(biāo)志著設(shè)備接地性能的好與壞。⑵電阻的測量，接地電阻一般可用電流表—電壓表、電橋法、接地電阻測量儀等來測量，目前都采用接地電阻測量儀來進行測量，此方法即簡單又方便。常用的接地電阻測量儀有ZC-8型和ZC-29型兩種。在接地電阻測試前要先擰開接地線的引下線。

對于譜線的選擇很大程度決定著該元素的精度，那么我們要怎么來選擇合適的譜線，譜線的選擇取決于以下幾個因素。
1.分析儀器廠家對分析譜線的經(jīng)驗，知道哪條線適合所生產(chǎn)的光學(xué)系統(tǒng)和光源，所選用的譜線不受其他元素線的干擾。
2.含量范圍，元素不同譜線，強度不同，所以譜線可能滿足不了用戶提出的含量范圍，有時需要選擇兩條譜線。
3.元素間的相互干擾，在分析元素的譜線側(cè)旁存在另一元素的譜線時，而且該元素的含量很高，它將會使所要分析的元素譜線強度增加。因此，得出的分析含量會比實際的高。選擇譜線時要減少這種元素間干擾效應(yīng)。
特殊的聚焦，通常由于發(fā)射譜線相互很近，有時必須采用光學(xué)系統(tǒng)部件進行補償