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焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機(jī)氣體分子分離，而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)由高溫轉(zhuǎn)輪裝置和活性炭吸附裝置構(gòu)成。有機(jī)廢氣通過預(yù)過濾器，除去灰塵顆粒，保護(hù)下游的設(shè)備；通過原氣體冷凝器，除去高沸點(diǎn)有機(jī)物基酮MEA，保護(hù)高溫轉(zhuǎn)輪裝置內(nèi)的吸附劑；通過加熱器，加熱冷凝后的有機(jī)廢氣至30。C左右，這樣可以提高有機(jī)物吸附率；接著通過G—AC過濾器，再次過濾去除高沸點(diǎn)有機(jī)物。廢氣送風(fēng)機(jī)將有機(jī)廢氣送人高溫轉(zhuǎn)輪裝置進(jìn)行吸附。高溫轉(zhuǎn)輪分為前后二室，并裝有一個大轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上裝有紙質(zhì)活性炭過濾器。有機(jī)廢氣過濾和吸附后排人大氣中，吸附后的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)入另一室內(nèi)，通入150。C左右的熱空氣進(jìn)行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體通過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設(shè)備，被濃縮氣體送風(fēng)機(jī)送人顆?；钚蕴课酵蔡幚恚胶笈欧庞诖髿庵?。

有機(jī)廢氣VOCs治理項(xiàng)目采用的“活性炭吸附脫附+RCO催化燃燒設(shè)備”從前期的方案設(shè)計(jì)到施工布局，中期的安裝和調(diào)試運(yùn)營，以及后期技術(shù)人員的操作培訓(xùn)，均由樸華科技全程跟蹤把控，不僅節(jié)約了時間成本，也使得整個有機(jī)廢氣VOCs治理項(xiàng)目工程能夠快速投入使用，幫助精細(xì)化工企業(yè)客戶順利通過環(huán)評驗(yàn)收的同時，也為員工營造一個潔凈的工作環(huán)境。