真空泵機(jī)組工作原理 倘若三級水環(huán)機(jī)組還是不能滿足極限壓力的時候，我們可以采用水環(huán)泵并聯(lián)機(jī)械真空泵。這個機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，時間長且極限真空度要求非常高的抽真空系統(tǒng)，比如在真空干燥方面。 如果要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是比較合適的，但是因?yàn)槠錁O限真空度不高，而導(dǎo)致整個機(jī)組的極限真空度較低（這個只是相對而言）。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機(jī)械真空泵作為前級泵使用?？梢园褮怄?zhèn)機(jī)械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為泵的前級泵。真空干燥時，先用水環(huán)泵進(jìn)行預(yù)抽，直到它的水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵，切斷水環(huán)泵。如果需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都比較少。

旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。