ICP-OES和ICPMS樣品分析能力不同：
ICP-MS有驚人的能力來分析大量測定痕量元素的樣品，典型的分析時間為每個樣品小于5分鐘，在某些分析情況下只需2分鐘。Consulting實驗室認為ICP-MS的主要優(yōu)點即是其分析能力。
ICP-OES的分析速度取決于是采用全譜直讀型還是單道掃描型，每個樣品所需的時間為2或6分鐘，全譜直讀型較快，一般為2分鐘測定一個樣品。

硬件設(shè)備目前國際采用的主流技術(shù)為全固態(tài)光源和中階梯光柵二維分光系統(tǒng)，少部分采用電子管作為功放的射頻光源和一維分光技術(shù)。單道掃描的ICP儀器還有一定的市場占有率和保有量，在特殊行業(yè)（如稀土）具有不可替代的作用。

ICP-MS與ICP-OES的區(qū)別？
1、容易使用度不同：
在日常工作中，從自動化來講，ICP-OES是成熟的，可由技術(shù)不熟練的人員來應(yīng)用ICP-OES專家制定的方法進行工作。
ICP-MS的操作直到現(xiàn)在仍較為復(fù)雜，自1993年以來，盡管在計算機控制和智能化軟件方面有很大的進步，但在常規(guī)分析前仍需由技術(shù)人員進行精密調(diào)整，ICP-MS的方法研究也是很復(fù)雜及耗時的工作.

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