真空泵機(jī)組工作原理 一臺(tái)泵與一臺(tái)水環(huán)泵的極限壓力是400Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會(huì)受到一定的限制，如果用兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就可以大大提高機(jī)組的極限壓力（可以達(dá)到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)后再用雙級(jí)泵作前級(jí)泵組成機(jī)組。如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺(tái)羅茨泵與水環(huán)泵組合，它的極限壓力可以達(dá)到1Pa。

旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對(duì)金屬無腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。