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氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

怎么理解質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)。

流量積算儀——型號(hào)定義

儀表采用了先進(jìn)的模塊化設(shè)計(jì)。流量信號(hào)輸入、通訊、變送等功能可根據(jù)用戶實(shí)際需要配置不同的模塊來實(shí)現(xiàn)，配置靈活方便。儀表可允許安裝5個(gè)模塊。任何一臺(tái)儀表的壓力和溫度輸入方式都可以自由設(shè)置，所以溫度和壓力的輸入方式與型號(hào)無關(guān)。

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