超聲波霧化是利用超聲波能量在氣相中形成細霧的過程，即超聲波在振動的液體表面產生，一個由振幅組成的峰將液滴從表面分離和打破。隨著超聲頻率的增加，霧化液滴越來越細，在超聲振動頻率作用下，一般可以得到較細的液滴。