根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類： (1)一般水泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。 (2)油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。 (3)擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。 若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

特點(diǎn)(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。