水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。

去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂 ,則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H+被置換到水中，并和水中的陽離子組成相應(yīng)的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）。

水中各種離子含量即水的純凈度指標有電阻率（MΩ.cm）與電導率(us/cm)兩種測量單位，兩種單位互為倒數(shù)換算關(guān)系，如果水中離子含量越低，水質(zhì)就越好，對應(yīng)電阻率越高，電導率就越低，25℃理想狀態(tài)下超純水的電阻率值是18.25 MΩ.cm，對應(yīng)電導率換算是0.055us/cm。為客戶提供從設(shè)計方案、設(shè)備制造成套、安裝施工調(diào)試以及售后質(zhì)量跟蹤服務(wù)的高品質(zhì)、高標準、高技術(shù)的一條龍服務(wù)，真正為客戶解決各類水質(zhì)難題。

但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤旋上升，經(jīng)過汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預熱器的加熱源，預熱原料水后從預熱器不凝結(jié)水排放出口排出機外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。