云南恒云凈化工程有限公司主營：凈化工程,醫(yī)院手術(shù)室安裝,凈化設(shè)備

凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計上就要有所要求。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專業(yè)公司。

好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。