湖北銳誠(chéng)真空科技有限公司主營(yíng)：氦檢設(shè)備，氦檢漏設(shè)備，氦質(zhì)譜檢漏儀，真空箱氦檢漏

真空設(shè)備主要應(yīng)用在哪些方面

湖北銳誠(chéng)真空科技有限公司坐落于湖北鐘祥。是一家專業(yè)性從事真空應(yīng)用設(shè)備、制造及真空技術(shù)服務(wù)的專業(yè)化公司。公司具體業(yè)務(wù)涉及到科學(xué)研究、電力工程、制冷、電力能源、新能源技術(shù)、新型材料、環(huán)保等領(lǐng)域。產(chǎn)品主要包括：真空箱式氦檢漏、蒸發(fā)器氦檢漏、冷凝器氦檢漏、加油管路氦檢漏、鋼桶氦檢漏、制冷管氦檢漏、同軸管氦檢漏、氦檢漏設(shè)備、高壓氦氣檢漏設(shè)備、充氣柜檢漏設(shè)備等。

鍍膜設(shè)備在傳感器方面的應(yīng)用

在傳感器中，多采用那些電氣性質(zhì)相對(duì)于物理量、化學(xué)量及其變化來(lái)說(shuō)，極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外，其中大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì)，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價(jià)格制作、因此采用薄膜的情況很多。

鍍膜設(shè)備在集成電路制造中的應(yīng)用

晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)?？梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。

檢漏時(shí)先將工件吊裝至箱門托架中，到位后放好，將工件與系統(tǒng)連接，箱門手動(dòng)關(guān)閉，按下啟動(dòng)按鈕，，系統(tǒng)自動(dòng)完成抽真空、微漏檢測(cè)、回收、清氦等工作。

箱門關(guān)好后，系統(tǒng)對(duì)真空箱真空、抽真空，充氦檢微漏。如果工件不合格系統(tǒng)將報(bào)警，無(wú)論工件合格與否系統(tǒng)都給出指示。對(duì)于不合格產(chǎn)品，系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，然后對(duì)真空箱充入大氣，工件內(nèi)氦氣回收，然后中止檢測(cè)程序，將工件從真空箱內(nèi)移出；

微漏檢測(cè)合格后，自動(dòng)進(jìn)入回收程序。充氦回收系統(tǒng)工作流程見圖七。充氦過程為：對(duì)被檢工件抽空后，開V1，對(duì)工件充氦氣到規(guī)定壓力后關(guān)V1。檢完漏后，V2開，工件內(nèi)氦氣自動(dòng)流入回收罐。然后V2關(guān)，V3開，機(jī)械泵抽出工件內(nèi)剩余氦氣并送入回收罐。同時(shí)主壓縮機(jī)將回收罐內(nèi)的氦氣壓縮至儲(chǔ)氣罐。因?yàn)椴豢赡?00%回收（回收率高于95%），所以當(dāng)儲(chǔ)氣罐內(nèi)壓力或濃度低于規(guī)定值時(shí)，需開V6，補(bǔ)充氦氣，以保持儲(chǔ)氣罐內(nèi)的氦氣有足夠的壓力和濃度。