去離子水,一般采用的是反滲透+離子交換混床工藝制得的純水,一般電導(dǎo)率可以達(dá)到0.056us/cm,很容易制取高純度的水,成本比較低,也是目前普遍制取純水的工藝.但是,在問(wèn)題方面,如果不加處理,不如蒸餾水好.這種工藝制得的純水,微生物含量比較有保障.如果離子交換工藝做的去離子水,后端采用了殺菌措施,則去離子水的純度會(huì)更高一些,而且成本更低.

但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過(guò)近年來(lái)電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤(pán)旋上升，經(jīng)過(guò)汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預(yù)熱器的加熱源，預(yù)熱原料水后從預(yù)熱器不凝結(jié)水排放出口排出機(jī)外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無(wú)熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。

把清洗液排放到其他好迥另行處理；關(guān)閉循環(huán)泵；用去離子水沖洗約1小時(shí)，當(dāng)PH值達(dá)到5~7時(shí)，停止沖洗，并放空沖洗水，如果既有鍋爐水垢又對(duì)二氧化硅水垢進(jìn)行清洗。進(jìn)行第三次分離，從而得到合格的蒸餾水，被廣泛用于、醫(yī)院、電子、食品和科研等行業(yè)。
工業(yè)去離子水濃縮水排放閥可恰當(dāng)關(guān)小，當(dāng)蒸汽壓力低于0.3MPa時(shí)為小負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，到更的如各介質(zhì)連續(xù)調(diào)節(jié)、與存儲(chǔ)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)、分級(jí)密碼控制甚至到蒸發(fā)量變化的控制，可以說(shuō)細(xì)致入微

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。