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真空設備氦檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。HLT260型氦質譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真

空達到穩(wěn)態(tài)，

并預先根據環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內部氣體經由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發(fā)現漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式最xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。

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由于工件內外壓差不能大于0.04Mpa,抽空過程中系統(tǒng)可通過電氣控制部分控制工件內外基本等壓，如果壓力差超過設定值，則抽速較快的泵自動停止，等壓力差達到規(guī)定要求時，泵自動運行，直至真空箱和工件內的真空度均達到規(guī)定值。系統(tǒng)自動記錄、存儲抽真空、充氦、氦檢過程中的工件和真空箱的壓力變化情況。系統(tǒng)同時具有自我診斷與報警功能，顯示各種故障信息。

電氣系統(tǒng)同時具有自我效準、連鎖保護和報警功能，以及急停按鈕，確保系統(tǒng)本身運行可靠安全和被檢工件的安全。為了保證工件的安全，系統(tǒng)中采用壓力和真空傳感器同時使用的方式，以防止傳感器失效而對系統(tǒng)造成的傷害。

結構主要采用電腦觸摸屏的集散式半導體模塊控制系統(tǒng)，分散與集中控制相結合，層次分明、成本低廉、維護方便。上位機采用工控機，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運行狀態(tài)集中管理。

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真空計檢漏 根據相對真空計（熱導真空計和電離真空計等）的讀數檢漏的方法。真空計的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏氣體進入系統(tǒng)后會引起真空計讀數的突然變化。熱導真空計可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏 圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構成一個間熱式二極規(guī)管。當加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發(fā)出的正離子在負電場下到達陰極形成電流。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發(fā)射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應制成的。檢漏時將規(guī)管接到系統(tǒng)中，并將系統(tǒng)抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置?；蚺c此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統(tǒng)內，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質譜檢漏 很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉質譜計作為檢漏工具，工作原理與真空質譜計相同，差別僅在于氦質譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因為它只檢測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結構簡單、靈敏度高、性能穩(wěn)定、操作方便等優(yōu)點。氦質譜檢漏儀的結構如圖所示。氦質譜檢漏儀的主要技術指標有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應時間與清除時間，單位為秒；③工作壓強與極限壓強，單位為帕。 

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