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凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

潔凈車間是一個多功能的綜合體，潔凈車間工程是一個多學科、多領域、綜合性的工程。由于潔凈車間工程技術難度高，工程造價大，因此，在實施潔凈工程時，一直注重潔凈車間的設計。清潔車間的設計一般應遵循“三不一要”的原則。

一、不帶入：不向潔凈車間帶入任何灰塵。

遵循這個原則，潔凈車間設計時，應做好如下的工作：

1、高效過濾器正確安裝，不會出現灰塵泄漏的情況。

2、保持潔凈車間相對于室外的正壓，只能讓室內的污染空氣出去，不能讓室外的空氣通過縫隙進入潔凈車間。

3、人員進入潔凈車間之前，必須做好清潔工作，更換潔凈服，并經過風淋室風淋，如此方可進入。

4、材料與設備經清潔后方可進入潔凈車間。

活動縫隙（二類）的處理：

凈化車間門宙的開啟扇與框料如何搭接是凈化車間門宙密封設計中的關鍵。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動扇需要開啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。相對于宙而言，凈化車間門的開啟扇更大，活動縫隙在一捏凈化車間門的總構造縫隙數量中占有更大的比例，凈化車間門扇的開啟次數遠較宙為頻繁，而凈化車間門扇周邊縫隙的工作條件也比較復雜，以單扇平開凈化車間門為例，沿豎向的兩側邊小，裝執(zhí)手的一邊經常受到通行時各種摩擦或碰撞，裝鉸鏈的一邊則因扇的旋轉而對膛的施力方向與其他三邊完全不同。