ICP-OES和ICPMS精密度不同：
ICP-MS的短期精密度一般是1～3% RSD，這是應(yīng)用多內(nèi)標(biāo)法在常規(guī)工作中得到的。長期(幾個小時)精密度為小于5%RSD。使用同位素稀釋法可以得到很好的準(zhǔn)確度和精密度，但這個方法的費用對常規(guī)分析來講是太貴了。
ICP-OES的短期精密度一般為0.3～2%RSD，幾個小時的長期精密度小于3%RSD。

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線性動態(tài)范圍LDR不同：
ICP-MS具有超過105的LDR，各種方法可使其LDR開展至108，但不管如何，對ICP-MS來說：高基體濃度會導(dǎo)致許多問題，而這些問題的解決方案是稀釋，正由于這個原因，ICP-MS應(yīng)用的主要領(lǐng)域在痕量/超痕量分析。
ICP-OES具有105以上的LDR且抗鹽份能力強，可進(jìn)行痕量及主量元素的測定，ICP-OES可測定的濃度高達(dá)百分含量，因此，ICP-OES外加ICP-MS，或GFAAS可以很好地滿足實驗室的需要。