真空泵性能特征:1、低噪音、低振動、直聯(lián)式風(fēng)冷結(jié)構(gòu)內(nèi)置油霧分離器過濾器，可達(dá)9.9%的油氣過濾效果。2、進(jìn)氣設(shè)計有止網(wǎng)閥，泵浦停機(jī)時泵體內(nèi)的油不返流；保養(yǎng)方便、維護(hù)費(fèi)用低、環(huán)保節(jié)能。3、結(jié)構(gòu)緊湊、外觀精美、體積小、節(jié)省空間配置氣鎮(zhèn)閥，可適用于蒸汽之制程。

特點(diǎn)(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。