北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司
店齡6年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 北京市海淀區(qū)
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主營(yíng)產(chǎn)品: 沖擊電壓試驗(yàn)儀, 耐電弧測(cè)試儀, 數(shù)字電荷儀, 表面體積電阻率測(cè)試儀, 納米測(cè)試儀, 海綿壓陷硬度測(cè)試儀, 納米犬分析測(cè)試儀, 多功能精密電池測(cè)試分, 高壓漏電起痕試驗(yàn)機(jī)
SVCS臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管SVCS沉積高品質(zhì)的n型摻雜
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生產(chǎn)廠家
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臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅;用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。
主要技術(shù)指標(biāo)
爐管1:N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉積工藝
氣體:高純N2、SiH4、PH3
爐管2:低應(yīng)力氮化硅,氮氧化硅薄膜
氣體:高純N2、NH3、N2O、SiH2Cl2
溫度:700-900 °C
硅片尺寸:3英寸、4英寸、6英寸圓片;50片/爐