水環(huán)真空機組以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級泵串聯而成的。水環(huán)真空機組選用的水環(huán)泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單臺水環(huán)泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環(huán)泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優(yōu)點。它能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染時更為明顯。如果配有防爆電機及電器時并遵守相應的安全規(guī)則下,還能夠抽除易燃易爆的氣體。

真空泵機組工作原理 一臺泵與一臺水環(huán)泵的極限壓力是400Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會受到一定的限制，如果用兩臺羅茨泵串聯再與水環(huán)泵組合，就可以大大提高機組的極限壓力（可以達到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環(huán)泵組合，它的極限壓力可以達到1Pa。