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好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。

凈化車間門窗固定縫隙（一類和三類）的處理：

此類縫隙查的安裝縫隙不僅在每樟凈化車間門窗當(dāng)今相對數(shù)量較少，而且樘與洞口的結(jié)合經(jīng)裝修后比較隱蔽，是比較容易密封的間定縫隙。棱與洞口周邊連接應(yīng)牢固，不僅是密閉凈化車間門窗，還是一般凈化車間門宙構(gòu)造的要求，由于凈化車間門的受力大而猛，在凈化車間門程的固定中尤應(yīng)注意程及其洞口周邊的固定點是否牢固穩(wěn)定，但對密閉凈化車間門窗來說，還必須強調(diào)膛與凈化車間門洞或宙桐間的縫隙中填塞密實，而后覆蓋以室內(nèi)和室外的墻面裝修層就可基本保證這類縫隙的氣密性，第二類固定縫隙即玻璃或其他芯板的安裝縫隙。在一橙凈化車間門的縫隙數(shù)量中相對所占比例較小，但在一膛宙的構(gòu)造縫隙中卻往往是主要部分，特別是對于外宙，它們暴露在大氣中，受室外氣候的影響，須慎重處理，一方面要盡量減少芯條玻璃安裝縫隙，一方面要慎重選擇設(shè)防構(gòu)造。

減少系統(tǒng)送風(fēng)量：潔凈室內(nèi)的送風(fēng)量較之一般恒溫恒濕空調(diào)房間內(nèi)的送風(fēng)量大很多，設(shè)法減少系統(tǒng)的送風(fēng)速度，可有效地節(jié)省處理空氣所耗用的能量，達到節(jié)能運行的目的；在滿足工藝條件的前提下，將室內(nèi)橫斷面平均風(fēng)速降低20%，此時房間的送風(fēng)量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設(shè)備風(fēng)機運行的耗電量。