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嵌入可動(dòng)電極的微慣性傳感器的設(shè)計(jì)

MEMS電容式微慣性傳感器因其具有尺寸小、靈敏度高、穩(wěn)定性好、溫度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等優(yōu)點(diǎn)，在軍事、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、消費(fèi)電子、慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。 本首先分析了電容式微慣性傳感器的測(cè)量控制原理和系統(tǒng)動(dòng)態(tài)模型，并在此基礎(chǔ)上通過三個(gè)方面設(shè)計(jì)出新型嵌入橫向可動(dòng)電極的微慣性傳感器，分別是：支撐梁結(jié)構(gòu)、微執(zhí)行器結(jié)構(gòu)和檢測(cè)電容結(jié)構(gòu)。通過分別對(duì)以上三方面不同結(jié)構(gòu)模型的分析對(duì)比，在傳感器設(shè)計(jì)中選用U形梁結(jié)構(gòu)作為傳感器的支撐梁，電磁執(zhí)行器作為驅(qū)動(dòng)力，梳柵結(jié)構(gòu)作為檢測(cè)電容結(jié)構(gòu)。

其中為了克服深反應(yīng)離子刻蝕關(guān)于深寬比不能做大的限制和降低噪聲，詳細(xì)介紹了電磁驅(qū)動(dòng)增大傳感器初始檢測(cè)電容的工作原理，通過嵌入可動(dòng)電極和電磁驅(qū)動(dòng)作用減小電容間隙，結(jié)果表明，電磁驅(qū)動(dòng)使得傳感器的電容間隙減小4μm，初始檢測(cè)電容由1.28pf增大到6.4pf。 根據(jù)以上理論分析和參數(shù)設(shè)計(jì)，給出了新型電容式微慣性傳感器的整體結(jié)構(gòu)模型，并利用有限元軟件Ansys進(jìn)行。結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的傳感器在非敏感方向上梁的剛度較大，軸向交叉效應(yīng)得到了有效抑制；傳感器的靜態(tài)位移靈敏度為0.659μm/g，施加電磁驅(qū)動(dòng)前后的電容靈敏度分別為0.15pf/g和0.192pf/g，增大為原來(lái)的1.28倍；同時(shí)應(yīng)力分析結(jié)果表明，傳感器能夠抵擋1000g的加速度信號(hào)的沖擊而不被損壞。之后利用電磁分析軟件ANSOFT-Maxwell分析了邊緣效應(yīng)對(duì)傳感器性能的影響，表明小尺寸的傳感器電容的邊緣效應(yīng)不可忽略。

水處理系統(tǒng)智能數(shù)據(jù)傳感器

傳統(tǒng)水處理行業(yè)如何搭載人工智能這趟高速列車?日前，基于大數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)分析的智能水處理診斷預(yù)測(cè)平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱智水平臺(tái))正式上線運(yùn)行。平臺(tái)結(jié)合開放的分析與預(yù)測(cè)軟件，可以為工業(yè)用水和廢水，城市污水處理提供產(chǎn)品識(shí)別和實(shí)時(shí)的設(shè)備故障監(jiān)測(cè)預(yù)測(cè)，從而幫助企業(yè)用戶提升設(shè)備性能，改善系統(tǒng)效率及降低維運(yùn)成本，使水處理簡(jiǎn)潔化、透明化和精準(zhǔn)。

可以結(jié)合實(shí)時(shí)傳感器數(shù)據(jù)，預(yù)測(cè)水處理設(shè)備的潛在故障，診斷運(yùn)行不合理的應(yīng)用，通過人工智能算法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)的預(yù)測(cè)結(jié)果，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)信息的互聯(lián)互通、問題的提前預(yù)判、數(shù)據(jù)的自我演進(jìn)和操控的先進(jìn)管理。通過跨設(shè)備、跨工藝、跨系統(tǒng)、跨技術(shù)的互聯(lián)互通，實(shí)現(xiàn)水處理的資源優(yōu)化、協(xié)同合作和服務(wù)延伸，瑞泰威公司充分發(fā)揮自身優(yōu)勢(shì)，將打造成為水處理行業(yè)先進(jìn)分析與預(yù)測(cè)軟件公司，垂直領(lǐng)域的人工智能技術(shù)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)。

紅外傳感器

紅外傳感器是將輻射能轉(zhuǎn)換為電能的一種傳感器，又稱為紅外探測(cè)器.常見的紅外探測(cè)器有兩大類，熱探測(cè)器和光子探m器.熱探測(cè)器是利用人射紅外輻射引起探測(cè)器的敏感元件的沮度變化，進(jìn)而使有關(guān)物理參數(shù)發(fā)生相應(yīng)的變化，通過測(cè)量有關(guān)物理參數(shù)的變化來(lái)確定紅外探測(cè)器吸收的紅外輻射.熱探測(cè)器的主要優(yōu)點(diǎn)是響應(yīng)波段寬，可以在室沮下工作，使用方便。

但是，熱探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，靈敏度較低，一般用于紅外輻射變化緩慢的場(chǎng)合.如光譜儀、測(cè)溫儀、紅外攝像等。光子紅外探測(cè)器是利用某些半導(dǎo)體材料在紅外輻射的照射下，產(chǎn)生光子效應(yīng)，使材料的電學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，通過測(cè)電學(xué)性質(zhì)的變化，可以確定紅外輻射的強(qiáng)弱。光子探測(cè)器的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，響應(yīng)速度快，響應(yīng)頻率高。但一般需在低溫下_L作，探測(cè)波段較窄，一般用于側(cè)溫儀、航空掃描儀、熱像儀等。紅外傳感器廣泛用于測(cè)溫、成像、成分分析、無(wú)損檢測(cè)等方面，特別是在軍事上的應(yīng)用更為廣泛，如紅外偵察、紅外雷達(dá)、紅外通信、紅外對(duì)抗等。