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好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。

不積累：不在潔凈車間積累任何灰塵。

遵循這個原則，潔凈車間設(shè)計時，應(yīng)注意如下幾個方面：

1、墻角設(shè)計成圓弧形，避免灰塵積累，如果是平直形，不但容易積累灰塵，而且清潔很難。

2、 潔凈車間應(yīng)盡量不暴露風管與管道。

3、 制定清潔管理制度，定期的清潔潔凈車間，定期維護潔凈空調(diào)系統(tǒng)，避免積塵。

要去塵：快速去除潔凈車間內(nèi)灰塵。

遵循這個原則，潔凈車間設(shè)計時，應(yīng)注意如下幾個方面：

1、在靠近灰塵產(chǎn)塵的地方設(shè)置排氣裝置。

2、增加換氣次數(shù)。

3、采用合適的氣流形式和室內(nèi)布局，避免灰塵站在產(chǎn)品上。

密閉條的設(shè)置。在經(jīng)常啟閉凈化車間門扇通行的情況下，除某些外凈化車間門為避開重設(shè)備等運輸時可能對凈化車間門樓的碰撞面把密閉條全部設(shè)置在凈化車間門扇上，或者一些內(nèi)凈化車間門由于車間運輸原因不允許在地面設(shè)置凈化車間門檻只能在靠近地面的凈化車間門扇底部安裝吊掛式掃地密閉條外，一般情況下，為了使密閉條盡量避免手摸、腳踩或車碰，少受人行與運輸?shù)挠绊?，多將長寬儀幾毫米的小斷面成型彈性密閉條敷設(shè)在凈化車間門提的隱蔽凹槽部位，再借凈化車間門扇的關(guān)閉壓緊。